當前所在位置: 首頁 > 產品首頁 >環境、健康、安全 >建築安全與機器安全 >結構保護:掛鎖/安全帶/密封件 >MICROFLEX TECHNOLOGIES密封墊MSA-028-311
MicroSeal 係列是高純度、高完整性密封件的完整產品線,適用於工業和半導體應用,包括低流量、高流量、高壓和低壓降。我們還提供孔口密封件和盲孔密封件,用於封閉備用端口。其他主要優點包括高清潔度和無源、富鉻、低 Ra 表麵光潔度。MicroSeals 可改裝為標準的 “C ”型密封係統。我們的密封件符合 SEMI 標準 PR 3.1、3.5 和新的大流量標準。MicroSeal 的設計具有更柔軟、更(geng)順(shun)從(cong)的(de)界(jie)麵(mian),可(ke)根(gen)據(ju)配(pei)合(he)表(biao)麵(mian)自(zi)行(xing)成(cheng)型(xing),確(que)保(bao)泄(xie)漏(lou)密(mi)封(feng)性(xing),並(bing)在(zai)不(bu)犧(xi)牲(sheng)回(hui)彈(dan)特(te)性(xing)的(de)情(qing)況(kuang)下(xia)去(qu)除(chu)虛(xu)擬(ni)泄(xie)漏(lou)。這(zhe)是(shi)市(shi)場(chang)上(shang)具(ju)有(you)高(gao)回(hui)彈(dan)性(xing)的(de)高(gao)順(shun)應(ying)性(xing)密(mi)封(feng)件(jian)。MicroSeals 的回彈率是同類密封件設計的十倍之多,而且對空腔公差的容忍度特別高。這確保了密封麵在高壓力、溫度和振動條件下保持緊密接觸。所有這些特性都是在低壓縮率的情況下實現的,從而確保了較高的通過。
3 端口 C 形密封組件
1.125" 基體 / K1s
優化的內徑,可在中流量、高流量、蒸汽和液體輸送係統中實現低壓降
低壓縮率,確保氣體/液體輸送係統的高可靠性
密封回彈力是傳統設計的 10 倍,可在衝擊和振動條件下實現泄漏完整性
符合 SEMI PR 3.1 和 3.5 標準
高純度雙熔體 316 不鏽鋼
潔淨被動式富鉻表麵
5 Ra 潤濕表麵處理
減免了高成本的返工和報廢現象
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產地 |
美國 |
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檢漏孔 |
4 個 |
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間隙孔 |
4 個 |
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固定片 |
M4 緊固件 |
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材料 |
316L VIM VAR |
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鉻/鐵比率 |
鉻/鐵比率 > 2.0 |
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氧化物厚度(減碳) |
氧化鉻厚度 > 20 埃 |
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表麵粗糙度 |
10 微英寸 |
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缺陷 |
每個位置少於 25 個缺陷 |
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設計壓力 |
5000 psig |
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外側泄漏 |
< 1×10-9 atm·cc/s He |
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內側泄漏 |
< 7×10-11 atm·cc/sec He |
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內側泄漏 |
測試後 < 1×10-9 atm·cc/sec He |
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內板泄漏 |
扭矩設置的 80 % 和 120 % 時,< 1×10-9 atm·cc/s He |
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板泄漏 |
經過 20 次重做循環後,< 1×10-9 atm·cc/s He |
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在 50、75 和 100 ft/lbs 下測試後,板泄漏 |
< 1×10-9 atm·cc/s He |
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溫度循環 |
室溫 100 ℃、室溫 -10 ℃;五個循環 |
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溫度衝擊測試 |
-196 至 200 ℃ |
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壓縮負載測試 |
0.062 至 0.050 英寸 |

工業、半導體
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