SENS4真空規VPM-7-10202133

SENS4 A/S VPM-7 SmartPirani ATM傳感器專為半導體負載鎖壓力控製和其他需要準確測量相對於大氣環境壓力的應用而設計。SENS4 A/S VPM-7 提供了同類中更好的性能，具有更寬的測量範圍、更高的精度和比傳統負載鎖傳感器更快的測量周期，以及其他負載鎖傳感器解決方案。SENS4 SmartPirani ATM通過將熱導率Pirani熱損失真空計的可使用測量範圍擴展1-3個數量級，建立了新的標準。 SENS4 VPM-7 是一款多傳感器變送器
，具有四個壓力輸出：一個氣壓環境傳感器
、一個寬範圍熱損失 Pirani 傳感器
、一個膜片傳感器，以及一個與大氣壓力相關的信號

，它們共同作用於現代負載鎖真空腔，以優化準確的壓力控製。膜片傳感器提供從 2 到 1333 mbar（1.5 到 1000 Torr）的氣體獨立讀數。

15 針 HD D-Sub 公頭/雙模擬輸出

1E-6 至 1333 mbar 寬測量範圍

MEMS Pirani 和壓電傳感器組合

獨立於 2 至 1333 mbar的氣體

用於負載鎖定壓力控製的大氣切換功能

數字、模擬和設定點控製功能

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub
、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB
，9 針 D 型超微
，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微
，電源 (90 至 230 VAC)

產地：丹麥

真空法蘭/傳感器保護：DN16KF

數字接口：RS-485 / S4-Connect (9 針和 15 針 D-sub)

模擬輸出：1.0 至 9 VDC 1 VDC/Dec (MKS 901P/925/910)

單位：torr

設置點：3 個固態繼電器

連接：15 針 HD D-Sub 公頭/雙模擬輸出

測量範圍：1E-6 至 1333 mbar

模擬輸出分辨率：16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點範圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 Torr）

固態繼電器觸點額定值：50 V
、100 mArms / mADC

固態繼電器認證：UL 認可：文件 E76270

；CSA 認證：證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

儲存環境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質壓力Abs：10 bar

安裝位置：任意

保護等級
，EN 60529/A2：2013：IP 40

濕度
，IEC 68-2-38：98%
，無冷凝

真空熱處理爐、空間環境模擬、質譜儀、半導體、電子顯微鏡、PVD鍍膜