SENS4電離真空計VPM-4 SmartPirani

VPM-4 SmartPirani LT 傳感器基於創紀錄的 VPM-5 SmartPirani 傳感器所使用的熱損失傳感器技術，測量範圍為 13 至 1E-6 mbar（10 至 7.5E-7 torr）。該傳感器技術將熱導真空計的可用測量範圍擴大了 1-3 倍，從而確立了新的標準。SmartPirani 基於新型的 MEMS（微機電係統）傳感器技術，結合了數字信號處理架構和創新測量算法，隻有 Sens4 才能提供。SmartPirani LT 擴展了測量範圍
，可用於傳統的熱陰極電離真空計或冷陰極電離真空計的測量範圍。SmartPirani LT 針對低量程測量性能進行了優化，其上限測量範圍可達 13 mbar（10 托）。 SmartPirani 傳感器係列還包括全量程 VPM-5 SmartPirani（提供 2 至 1333 mbar的獨立氣體測量）和 VPM-7 SmartPirani ATM（進一步提供大氣開關功能）。用戶可通過 PC 或智能手機的數字通信接口對傳感器設置和參數進行編程。帶有 RS-232 或 RS-485 串行接口的傳感器可通過串行接口或 S4-Connect 接口進行配置。數字接口可進行診斷、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬輸出縮放以及獲取實時真空壓力測量值，以便在屏幕上進行可視化。S4-Connect USB 編程器與免費
、直觀的配置軟件相結合，是一種即插即用的解決方案，可用於傳感器編程、實時測量和診斷。

測量範圍為 1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至 10 托）

超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳感器

創新數字信號處理  

可安裝在任何方向而不影響性能

可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

低壓真空開關

用於真空過程控製的三個固態設定點

10 bar（145 磅/平方英寸）的高過壓容限

堅固
、緊湊的不鏽鋼法蘭和外殼設計

15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485 引腳說明

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 通用

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常開（常開觸點）

• CAL-VPM4-DAKKS DAkkS 實驗室認可的校準證書
• S4-Connect USB 編程器

PRG-S4-15DS-01 S4-Connect USB 編程器
，15p HD D-sub 接口

PRG-S4-9DS-01 S4-Connect USB 編程器
，9p D-sub 接頭

PRG-S4-RJ45-01 S4-Connect USB 編程器
，8 個 FCC68/RJ45 連接器

PRG-S4-HM-01 S4-Connect USB 編程器, 6p 赫斯曼接口

• 用於 VPM-4 SmartPirani LT 傳感器的 USB 至串口轉換器（90-230 VAC 牆插供電）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90-230VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub
、電源（90-230VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針 D 型超微，電源（90-230VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 轉 USB 通訊器
，9 針 D-sub 接口，電源 (90-230VAC)

• USB 至串口轉換器，用於 VPM-4 SmartPirani LT 傳感器（USB 端口供電）

PRG-RS2-15DS-01 RS-232 通訊器 USB, 15p HD D-sub 接頭

PRG-RS4-15DS-01 RS-485 通訊器 USB, 15p HD D-sub 接頭

PRG-RS2-9DS-01 RS-232 USB通訊器，9p高清D-sub接口

PRG-RS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB, 9p D-sub 接頭

• 電纜

CAB-F15DSM15DS-003 15p HD D-sub 母頭轉 15p D-sub 公頭
，帶 3 米電纜

CAB-F15DSM15DS-005 15 p HD D-sub 母頭轉 15 p D-sub 公頭，帶 5 m 電纜

CAB-F15DSM15DS-010 15 p HD D-sub 母頭轉 15 p D-sub 公頭，帶 10 m 電纜

CAB-F9DSM15DS-003 9 p D-sub 母頭轉 15 p D-sub 公頭，帶 3 m 電纜

CAB-F9DSM15DS-005 9 p D-sub 母頭轉 15 p D-sub 公頭
，帶 5 m 電纜

產地：丹麥

測量範圍：1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至 10.0 托）

測量原理 1×10^-6 至 13.33 mbar：MEMS Pirani 熱導率

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-1 mbar：讀數的 5 %

精度 1.00 至 13.33 mbar：讀數的 30 %

滯後 1×10^-3 至 13.33 mbar：1 %

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）：< 20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點範圍：5×10^-6 至 13.33 mbar（3.75×10^-6 至 10.0 托）

固態繼電器觸點額定值：50 V
、100 mArms / mADC

固態繼電器認證：UL 認證： 文件 E76270；CSA 認證： 證書 1175739
；EN/IEC 60950-1 認證

工作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護等級
，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度
，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可熱恢複）

外殼材質：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空處理法蘭（介質浸濕）：不鏽鋼 1.4307 / AISI 304L

真空外露材料（與介質接觸）：304L 不鏽鋼、Kovar
、玻璃
、矽、鎳、鋁、SiO₂、Si₃N₄、金

、氟橡膠
、低放氣環氧樹脂

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

質譜儀、掃描電子顯微鏡、熔爐熱處理、玻璃、光學器件、工具等的 PVD 塗層、製冷服務和製造、半導體加工