ENTEGRIS氣體擴散器FV50D XL

快速減少裝載鎖和傳送室中的顆粒和排氣時間。FV50D XL 擴散器可大限度地縮短加載鎖定排氣周期時間，從而可靠地提高係統吞吐量。這種二代擴散器可以承受更高的工作壓力（60 psig）
，額定循環次數為 100 萬次，從而大大提高了性能
，降低了擁有成本。

我們的 Chambergard xiliechanpinkekuaisuxiangdaqipaiqi
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額定循環次數為 1,000,000 次，可在更高的入口壓力下運行

在緊湊型擴散器中采用燒結鎳專利技術，可在所有應用中提供高性能

從輸入氣體中去除大於 0.0015 µm 的顆粒
，大限度地減少晶片缺陷

易於安裝/改裝到現有工具中，大限度地減少停機時間

訂購編號CG2 NDD 050R2：Chambergard FV50D XL

產地：美國

擴散元件：燒結鎳膜過濾器

外殼材質：316 L 不鏽鋼

內表麵光潔度：≤ 32 μin Ra

O 形圈材料：氟橡膠

尺寸：2-229

溝槽內徑：59.9 mm（2.36 英寸)

溝槽外徑：67.9 mm（2.67 英寸）

溝槽深度：2.6 mm（0.10 英寸）

入口連接方式：1⁄4 英寸 VCR 兼容外螺紋墊圈密封接頭

出口連接方式：ISO NW50 隔板安裝，兼容標準 ISO 隔板夾

下遊清潔度：清潔度小於 0.03 顆粒/L（<1 顆粒/ft³） > 0.01 μm 額定流量

去除率：≥ 0.0015 μm

出口為真空時的Max入口壓力：4 巴（60 psig）

Max壓差：5 巴（75 psid）

Max工作溫度：100 °C (212 °F) （帶 O 形圈）；400°C (752°F) （不帶 O 形圈

保修期：2 年

將氣體快速排放到大氣中
，不會幹擾腔室內的晶片或增加晶片顆粒