ENTEGRIS配液係統IntelliGen RULV

內置堅固耐用的 RDS-01 V2 控製模塊可實現配液量準確度和重複性監測。IntelliGen RULV噴點係統基於新型兩級噴點技術與Entegris創新的Connectology過濾器設計的成熟性能，將高純度過濾與低粘度液體（1-100 cP或噴點壓力不超過29 psi時的更高粘度）的可重複噴點集成在一起。該泵係統專門設計用於TEL Clean Track ACT  12/ACT 8軌道係統。

IntelliGen RULV噴(pen)點(dian)係(xi)統(tong)是(shi)作(zuo)為(wei)光(guang)刻(ke)工(gong)藝(yi)的(de)消(xiao)毒(du)噴(pen)點(dian)係(xi)統(tong)而(er)開(kai)發(fa)的(de)，它(ta)可(ke)以(yi)在(zai)晶(jing)片(pian)上(shang)噴(pen)點(dian)出(chu)更(geng)均(jun)勻(yun)的(de)光(guang)化(hua)學(xue)塗(tu)層(ceng)。它(ta)還(hai)有(you)助(zhu)於(yu)縮(suo)短(duan)啟(qi)動(dong)時(shi)間(jian)，並(bing)提(ti)供(gong)智(zhi)能(neng)點(dian)膠(jiao)診(zhen)斷(duan)功(gong)能(neng)。兼(jian)容(rong)的(de) Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）過濾器可輕鬆滑入 IntelliGen RULV 係統的隔室。流體以特定截留率的流速通過 Impact 過濾器，從而提高產量並延長正常運行時間。集成的雙壓力傳感器可提供實時警報，並通過提供多種確認功能（包括分配確認

、周期時間確認和 delta P 確認）來lai增zeng強qiang過guo濾lv器qi填tian料liao功gong能neng。這zhe些xie確que認ren功gong能neng有you助zhu於yu防fang止zhi因yin塗tu層ceng問wen題ti造zao成cheng的de代dai價jia高gao昂ang的de晶jing片pian缺que陷xian
，以yi及ji在zai較jiao低di的de就jiu緒xu壓ya力li水shui平ping下xia因yin反fan向xiang間jian隙xi問wen題ti引yin發fa的de隨sui機ji直zhi流liu錯cuo誤wu。

空氣檢測功能可準確定位空氣進入出口管道的時間，這些空氣來自泄漏或隨著時間推移逐漸積累的微小氣泡。RDS-01 控製器的性能和交互式診斷功能使 IntelliGen RULV 噴點係統成為低粘度光阻的正確選擇，以確保噴點的可重複性、更長的過濾器壽命和回報。

大部分功能與 IntelliGen ULV 係統相同

，新增了使用流量計檢測分配液體量的準確性和可重複性的功能

專為東京電子 ACT 12/ACT 8 工具設計

可分配 1 - 100 cP 的低粘度液體，或分配壓力不超過 29 psig 的高粘度液體

可靠分配低粘度流體（1-100 cP）
，不影響過濾性能

新的用戶友好型 MMI 軟件可簡化配方編程並提供實時狀態

實時可靠的確認工具有助於很大限度地減少代價高昂的晶片缺陷

優化的流體流動路徑可提高化學品周轉率並減少死體積

改進的分配功能可防止電機反衝，使分配更加一致

可選配流量計，具有監測流量特性和更靈敏地檢測出口管中的氣泡
、泄漏或扭結的額外優勢

可選的後清潔程序有助於更快地啟動晶片運行

IGLNPVBPF1F1：分配係統：支柱型進氣口/Flaretek 型出氣口和排氣口：IntelliGen RULV 用於 RDS01 加裝 EX 淨化器

IGLNPSP01：電纜部件： 用於 RULV 的 RS232C 主機電纜

IGLNPSP02：電纜部件： 用於RULV的RS232C 5CM主機電纜

IGLNPSP03：電纜零件： RS422主機電纜PLS GND，用於RULV

IGLNPSP04：電纜零件： 用於 RULV 的 RS422 DG 鏈電纜 PLS GND

IGLNPSP05：流量計電纜部件： 流量計 RS485 2M 電纜，用於 RULV

IGLNPSP06：流量計電纜部件： 用於 RULV 的流量計 RS485 5M 電纜

產地：美國

體積：0.01 -10.0 mL
，增量為 0.001 mL

速度：0.01 - 3.0 mL/s，增量為 0.001 mL/s

重複性：≤ 0.02 mL 3 sigma

粘度範圍：1-100 cP

Max分配設計壓力：0.21 MPa（30 psi）

填充率、過濾率
、排氣率、吹掃率：0.1 - 3.0 mL/s，增量為 0.001 mL/s

排氣頻率：自動排氣或 1 -10,000 次分配循環

機械潤濕表麵：改性聚四氟乙烯（PTFE）、聚四氟乙烯（PTFE）、Kalrez 材料

連接類型入口：插入式，Super Type Pillar；出口和通風口：Flaretek 型

過濾器：Impact 8G 或 Impact 2 V2（OF 型）

入口、出口和通風管：外徑：6.35 mm（0.25 英寸）或 6.0 mm（0.24 英寸）；內徑：3.97 mm（0.156 英寸）或 4.0 mm（0.16 英寸）

入口氣體類型：調節 N₂ 或 CAD

Min工作氣壓：0.26 MPa（38 psi）

Max工作氣壓：0.28 MPa（40 psi）

氣動泄漏壓力：0.30 MPa（43 psi）

真空：-68 kPa（Min 20 英寸汞柱）

尺寸（高×寬×深）：303.5 × 118.0 × 156.8 mm（11.95 × 4.65 × 6.17 英寸）

重量約：4.5 kg（10 磅）

額定電流：Max 1.25 A

輸入電壓（係統）：24 VDC ± 10 %

串行通信：規格取決於使用的接口模塊

並行通信：觸發和確認

使用環境：室內使用

海拔：低於 2000 米（2187.22 碼）

環境溫度：5 至 40 °C (41 至 104 °F)

相對濕度：80 %（31 °C (88 °F) 以下）；50 %（40 °C (88 °F) 時線性遞減）

至 40°C (104°F) 時相對濕度為 50

22 - 26 VDC 的主電源波動

過電壓類別 II 的瞬態過電壓

汙染等級：2

超低粘度（1-100 cP）使用點光化學噴點