ENTEGRIS流量控製器6500

無論是自動化、過程控製還是保障問題，都需要對液體化學品和 CMP 泥漿進行準確的流量控製，因此儀表須清潔
、準確和可靠。Entegris 采用新型的電子技術和高純度材料，設計出的液體流量控製器，可更好地控製工藝流量變量。NT集成流量控製器 (IFC) 6500 xingzhuanweigaochunyetihuaxueyiqihejiangliaoyingyongerkaifa。gaiyiqidefazuohegemoshejiyongyudaxiandudijianshaositijiheliutijianqieli，congerjiangdigongyiwurandekenengxing。IFC 6500 型的潤濕部件采用含氟聚合物，非潤濕部件采用惰性材料
，可抵禦惡劣的化學環境和外部噴淋。NT IFC 6500 型xing采cai用yong雙shuang聚ju四si氟fu乙yi烯xi閥fa門men隔ge膜mo，用yong於yu流liu體ti密mi封feng和he汙wu染ran保bao護hu。采cai用yong的de電dian動dong閥fa和he流liu量liang計ji技ji術shu，封feng裝zhuang的de內nei部bu電dian子zi元yuan件jian可ke控kong製zhi流liu量liang控kong製zhi器qi的de所suo有you方fang麵mian。該gai裝zhuang置zhi由you設she定ding點dian信xin號hao（即 4 - 20 mA
、0 - 10 VDC
、0 - 5 VDC）激活
，以將流體流量保持在所需的設定點。

用於高純度應用的 PTFE 潤濕表麵

非金屬組件具有耐腐蝕性

內置壓力傳感器提供額外的過程信息

在關鍵分配應用中可獲得百分之一 (1%) 的滿量程精度

占地麵積小，便於在空間有限的地方進行現場安裝

快速響應，實現準確的分配率

產地：美國

潤濕部件閥體材質：PTFE

潤濕部件膜片材質：PTFE

傳感器接口材質：PFA 或 CTFE

主 O 形圈材質：Perfrez

非潤濕部件：聚丙烯、FEP
、PVDF 和氟橡膠（除上述材料外）

工藝溫度：10 至 65 ℃(50 至 149 °F)

電氣輸入：24VDC（± 10 %）@ 1 A

電氣輸出：兩個 4-20 mA 電氣隔離輸出

，一個用於流量
，一個用於壓力

流量測量：

在 20-滿流量範圍內為滿量程的 ± 1 %

流量範圍的 10-20% 時為滿量程的 ± 2.5 %

(使用去離子水在 23 °C [73 °F] 下進行校準）

重複性：流量範圍 20-滿 時
，滿量程的 ± 0.5 %；流量範圍 10-20 % 時，滿量程的 1 %。

壓力測量範圍：0 至 414 kPa (0- 60 psig)

Min工作壓力（入口處）：69 kPa (10 psig)

Max工作壓力：414 kPa (60 psig)

過壓限製：690 kPa (100 psig)

壓力測量精度：滿刻度的 1 %（包括線性、滯後和重複性的綜合影響）

電氣外殼：IP54

可靠性：浸濕部件，>300 萬次循環

響應時間：< 3 秒（10 % 至 95 % 滿量程流量範圍）

設定點輸入信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC
、0 - 5 VDC

符合認證：CE

用於關鍵分配應用的持續流量控製
、CMP 泥漿分配，取代現有蠕動泵、用於化學品添加和混合的批量控製、按需化學混合應用