半導體生產中的照明係統和鎮流器

在半導體生產中，照明和電源對生產過程的質量和效率起著至關重要的作用。

半導體生產應用

您是否在高精度條件下為電氣工程製造半導體，並需要強大的 248 nm 或 365 nm 紫外光源來表征晶圓或掩模版，或需要可靠的電源來支持您的氣體放電燈
、分析係統或圖像處理解決方案？

除了經典的 248 nm 氙氣汞混合氣體“深紫外係統”外，我們的產品組合還包括適用於 50 瓦及以上汞、氙和氙氣汞氣體放電燈的鎮流器。除了經典的短弧燈光源和鎮流器外

，我們還提供各種紫外-可見光 LED 光源。這些光源可以通過準直光學元件或光導直接耦合到您的係統中。

我們的緊湊型鎮流器可為您的半導體生產應用提供高度穩定可靠的電源。它們為光源提供最佳供電，並實現非常恒定的無閃爍光通量。

半導體製造產品