福祿克高效標定超高純（UHP）壓力傳感器解決方案

超高純（UHP）壓力傳感器作為半導體與光伏行業特種氣體輸送係統的核心部件
，廣泛應用於特氣櫃、工藝設備配氣櫃等關鍵環節，直接關係到氣體輸送的精確性與安全性。

相較於常規壓力傳感器
，UHP壓力傳感器具備以下幾項核心特性：

首先，其量程覆蓋範圍廣
，需同時滿足機台端25~50 psi絕壓
、氣路分配箱100~250 psi絕壓或複合壓，以及特氣櫃中250 psi至3000~5000 psi絕壓或複合壓的多種測量需求。

其qi次ci，在zai生sheng產chan過guo程cheng中zhong對dui潔jie淨jing度du有you嚴yan格ge要yao求qiu。為wei確que保bao傳chuan感gan器qi接jie液ye部bu件jian不bu受shou汙wu染ran，需xu在zai全quan量liang程cheng範fan圍wei內nei使shi用yong高gao純chun氮dan氣qi進jin行xing標biao定ding或huo校xiao準zhun，並bing便bian於yu後hou續xu實shi施shi潔jie淨jing包bao裝zhuang。

此外，UHP壓力傳感器通常要求精度達到+/- 0.2%FS或0.25%FS，因(yin)此(ci)必(bi)須(xu)配(pei)備(bei)高(gao)精(jing)度(du)的(de)標(biao)定(ding)係(xi)統(tong)以(yi)實(shi)現(xian)可(ke)靠(kao)的(de)線(xian)性(xing)校(xiao)正(zheng)。同(tong)時(shi)，其(qi)低(di)溫(wen)漂(piao)補(bu)償(chang)性(xing)能(neng)也(ye)需(xu)高(gao)度(du)可(ke)靠(kao)，確(que)保(bao)在(zai)吹(chui)掃(sao)過(guo)程(cheng)中(zhong)不(bu)出(chu)現(xian)零(ling)點(dian)漂(piao)移(yi)。

福祿克8270A模塊化氣體壓力控製器具備寬範圍、多量程與高精度的氣壓控製能力，控壓範圍覆蓋真空至44 MPa（約6600 psi）
，測量精度高達0.01%FS或0.007%讀數，穩壓精度為0.002%FS。該設備最多可同時搭載五個測壓模塊
，不僅無量程比限製，還能實現自動切換。僅需單台8270A控製器
，即可完成全量程UHP壓力傳感器的標定與溫補任務，幫助生產企業構建低成本
、高效率的柔性標定體係，適應小批量、多量程的精益生產模式。

以標定100 psi
、250 psi和5000 psi三個量程的UHP傳感器為例，僅需一台8270A配合6000 psi與300 psi兩個測壓模塊，即可覆蓋所有標定需求，係統綜合精度優於各量程的0.03%。

此外

，8270A主機集成電磁閥驅動功能，可通過控製三路電磁閥的啟閉，在一次升降溫循環中完成多量程傳感器的混合標定：

1
、標定100 psi量程時，三路電磁閥全部開啟
，係統自動選用300 psi模塊實施控壓與穩壓

；

2、標定250 psi量程時，關閉上路電磁閥，係統繼續使用300 psi模塊完成控製；

3
、標定5000 psi量程時
，僅保留下路電磁閥開啟，係統自動切換至6000 psi模塊進行穩壓與控壓。