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DIL 554氣溶膠稀釋係統的主要應用是潔淨室的測試氣溶膠的驗證。EN ISO 14644-3指南定義了在使用測試氣溶膠進行驗證時,適當稀釋係統的必要性。根據用於測試潔淨室和工作台的VDI 2083標準,強製在進入的氣溶膠中進行濃度增加的測量。
驗證層流氣流箱/長凳和潔淨室/環境
過濾效率的評估
高濃度氣溶膠的測量
基本氣溶膠研究
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